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Novellus Systems 02-033134-00晶圆底座加热器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：Novellus Systems 02-033134-00晶圆底座加热器是Novellus（现属泛林半导体）为其200mm晶圆沉积设备配套的加热底座，在CVD、ALD等工艺中负责晶圆的均匀
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