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AMAT 0010-70264机器人驱动器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0010-70264机器人驱动器是应用材料为其Centura系列设备配套的一款高精度机器人驱动组件，集成了驱动板卡、五相步进电机与谐波减速器，是晶圆传输系统的核心驱动部件。产品特点集驱动控制与执行机构于一体，
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