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Edwards NRB4-46-945干式真空泵 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：Edwards NRB4-46-945干式真空泵是Edwards公司iL70N系列的一款无油干式真空泵，专为半导体及高洁净度工业应用而设计。产品特点采用干式无油设计，避免油蒸气污染，保障工艺环境的洁净度属于iL7
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