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AMAT 0190-30906干式泵 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0190-30906干式泵是一款由丰田生产、应用材料认证使用的干式真空泵，型号为IPUP T100L，在半导体制造等严苛工业环境中得到广泛应用。产品特点采用无油干式设计，有效避免油蒸气污染，保障工艺腔体的洁净度能够
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