Nikon 4S064-209-3直线电机控制器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：Nikon 4S064-209-3 直线电机控制器Nikon 4S064-209-3 是尼康公司为其 NSR 系列半导体光刻系统配套的直线电机控制器，对应型号 CLSR-1B-N2CD，用于晶圆台的精密运动控制。