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Nikon 4S013-373-2 直线电机控制器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：Nikon 4S013-373-2 直线电机控制器Nikon 4S013-373-2 是尼康公司为其 NSR 系列半导体光刻系统配套的直线电机控制器，主要用于晶圆台的精密运动控制。一、产品特点（5条）尼康原厂制
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