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Adixen ATH1603M 涡轮分子泵 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：Adixen ATH1603M 磁悬浮涡轮分子泵：特点、参数与应用Adixen ATH1603M是一款采用五轴主动式磁悬浮轴承的高性能复合分子泵，适用于对洁净度、振动和耐腐蚀性要求极高的半导体与科研场景。一、产品特点
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