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AMAT 0090-36276 反应器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0090-36276 是应用材料公司的一款DPA反应器组件，作为P5000和5200系列CVD及刻蚀设备的核心工艺模块，在晶圆薄膜沉积和刻蚀制程中发挥着关键作用。产品特点专为应用材料P5000及5200系列CVD
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