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ASTeX AX3060-14 射频匹配器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：ASTeX AX3060-14 是一款射频匹配器，型号对应 SmartMatch 智能匹配单元，主要用于等离子体刻蚀、去胶等工艺设备中，用于实现射频电源与等离子体负载之间的阻抗匹配，以最大化功率传输并减少反射功率。产品
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