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GENESIS 27-406204-00 射频发生器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：GENESIS 27-406204-00 射频发生器该型号对应ENI（现MKS旗下）GHW-50A系列，是专为Novellus半导体设备配套的高功率射频发生器。产品特点大功率输出，提供5000W @ 13.
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