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Edwards PT66-1Z-000 半导体涡轮分子泵 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：Edwards PT66-1Z-000 涡轮分子泵是 Edwards STP 系列磁悬浮分子泵中的一款大抽速型号，对应型号 STP-A2203（或 STPA2203）。该泵采用五轴主动式磁悬浮轴承技术，
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