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MKS FI20620-1 远程等离子源 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：MKS FI20620-1 远程等离子源（RPS）是 MKS ASTRON 2L 系列中的一款射频等离子电源。该产品采用远程等离子体源（RPS）设计，将等离子体生成区与工艺腔分离，有效避免电极污染与金属溅射，专为半导体
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