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MKS AX7700MTS-03 等离子体源 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：MKS AX7700MTS-03 等离子体源是 MKS（ASTRON）旗下 Paragon F 系列的一款射频等离子电源，采用远程等离子源（RPS）设计，等离子体在远离工艺腔的独立腔体内生成后输送至晶圆表面，可有效
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