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MKS AX7670-19 远程等离子体源 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：MKS AX7670-19 是 MKS Instruments 旗下 ASTRONi 系列的一款远程等离子体源，专为半导体制造中的反应气体活化与腔室清洁工艺设计，广泛应用于 CVD、FPD 等制程设备中。产品特点采用
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