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KOKUSAI D4EX40194 控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：KOKUSAI D4EX40194 是日本国际电气为其半导体制造设备配套的控制器模块，主要用于扩散炉、沉积设备等工艺系统中的温度控制。产品特点属于KOKUSAI半导体设备的定制化控制器板卡。该系列包含温度控制器、加热
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