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MKS 253B-31797 节流蝶阀 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：MKS 253B-31797 节流蝶阀是MKS Instruments为半导体真空工艺设计的电动排气节流阀，用于精准控制工艺腔体压力，适用于刻蚀、沉积等制程。产品特点采用非线性激励器设计，阀门开度与压力控制呈线性关系。阀
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