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MKS GS53-F05F07-HT 真空泵执行器组件 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：MKS GS53-F05F07-HT 真空泵执行器组件是MKS Instruments旗下专为半导体设备设计的真空管路控制执行器，以下为其核心特点与应用领域概述。产品特点采用弹簧复位结构，断气可自动关闭管
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