Zygo 8020-0237-01 控制器模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：Zygo 8020-0237-01 控制器模块产品特点属于Zygo ZMI 501A系列位移测量干涉仪系统的测量电子模块。可输出正交或上/下脉冲及24位数字测量数据。每块板卡支持2轴测量，可灵活配置多通道系统。