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MKS 683B-25580 数字排气节流阀 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：MKS 683B-25580 是MKS Instruments推出的683B系列数字排气节流阀，用于真空系统的压力控制。产品特点集成控制器和执行机构于一体，无需外接控制模块。采用第二代PID控制算法，响应快、过
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