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MKS 901P-11130-0167 真空压力传感器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：MKS 901P-11130-0167 是MKS公司901P系列的一款复合式真空压力传感器，采用MicroPirani和压电差压双传感技术。产品特点采用MicroPirani和压电差压双传感器技术，测量
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