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AMAT 0010-11590 控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0010-11590 控制器，其主要特点如下：用于精确测量和控制气体流量。满量程流量为10 SCCM，适合低流量场景。压力等级为20 Torr。采用高精度传感器，控制稳定。兼容多种半导体工艺气体。响应速度快，实
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