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DAIHEN SVD-121-X0834 对准器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:DAIHEN SVD-121-X0834 对准器,核心特点如下(共15条):中间(15条)达谊恒品牌晶圆对准器,用于半导体晶圆传输腔室。适配300mm晶圆的刻蚀与沉积等工艺设备。采用高精度光学扫描传感,非接触式
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