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Zygo 8020-0237-03 控制器模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：Zygo 型号 8020-0237-03 控制器模块，是一款用于精密干涉测量或光学轮廓仪系统的运动控制与数据采集核心模块，具备以下特点：采用专用数字信号处理器（DSP），运算实时性强。支持压电陶瓷（PZT）执行
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