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NOVELLUS 02-281592-00 数字动态控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：NOVELLUS 02-281592-00 数字动态控制器 是专为半导体薄膜沉积设备设计的核心控制模块，用于动态调节腔体内的等离子体、气路及温度参数，确保工艺均匀稳定。采用高速数字信号处理，实时调节工
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