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Daihen 3D39-000004-V2 射频自动匹配器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：Daihen 3D39-000004-V2 是一款高性能射频自动匹配器，工作频率60MHz、功率5kW，适用于半导体等离子体工艺。以下是该型号的15项核心特点：工作频率60MHz，适配等离子体工艺需求
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