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Daihen RMN-20E2-V射频匹配器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：Daihen RMN-20E2-V 射频匹配器开头：Daihen RMN-20E2-V 半导体专用自动射频匹配器，适配刻蚀、镀膜机台，负责射频阻抗自动调节。适配 20kW 功率射频电源，标准 13.56MHz 频段
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