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Yaskawa XU-ACP130-B11晶圆预对准器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:Yaskawa XU-ACP130-B11晶圆预对准器是安川电机为半导体制造工艺设计的晶圆预对准专用设备,主要用于传输机器人的晶圆预对准环节,其主要特点可归纳为以下11条:该型号为安川晶圆预对准器。适配半
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