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3D80-000006-V1气动狭缝阀 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：3D80-000006-V1 气动狭缝阀，以下为主要特点。属于东京电子（TEL）半导体设备专用气动阀门组件。用于半导体刻蚀、沉积等工艺腔室的真空隔离与晶圆传输控制。采用气动驱动方式，通过洁净干燥空气（CDA）控制闸门开闭
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