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AMAT 0015-09077节流阀驱动器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0015-09077 节流阀驱动器开头：AMAT 0015-09077 是半导体真空腔体配套节流阀驱动单元，精准调节管路真空流量。阀门开度调节响应灵敏，控流精准闭环反馈控制，稳定维持腔体真空度内置过流、过载
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