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Daihen AMN-50E6-V射频匹配模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：Daihen AMN-50E6-V 是日本大亨（Daihen）公司生产的一款射频自动匹配模块。专为半导体等离子体工艺设备设计，用于射频传输系统的阻抗匹配。支持50Ω射频传输系统标准，适配主流射频电源。采用高速电机
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