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TEL 388-200206-V1温度控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：TEL 388-200206-V1 是东京电子（Tokyo Electron）生产的一款半导体设备专用温度控制器。专用于半导体制造设备的温度闭环控制。支持多通道温度监测，可读取热电偶、热敏电阻等多种传感器信号。采用
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