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DAIHEN 2L39-000158-V3射频自动匹配器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:DAIHEN 2L39-000158-V3 射频自动匹配器产品特点开头:DAIHEN 2L39-000158-V3 是半导体刻蚀镀膜设备专用射频匹配器,快速调节阻抗,稳定等离子工艺。自动实时匹配负载阻抗
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