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AMAT 0190-B9760真空控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0190-B9760 真空控制器为应用材料半导体设备配套的真空系统控制组件，适用于PVD、CVD及刻蚀工艺中的腔室压力监测与控制。应用材料原厂设计，与设备真空子系统硬件兼容。兼容Pirani热导式与冷阴极电离
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