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EDWARDS YT76-Z2-Z20控制器单元 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：EDWARDS YT76-Z2-Z20 控制器单元为爱德华真空系统配套的涡轮分子泵控制组件，适用于半导体、科研及工业真空工艺中的泵体驱动与控制。该型号实际对应爱德华SCU-1600系列涡轮分子泵控制单元。与爱德
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