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DAIHEN 3Z39-000001-V1射频自动匹配器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍： DAIHEN 3Z39-000001-V1 射频自动匹配器为日本大福（DAIHEN）旗下产品，适用于半导体刻蚀、CVD等等离子体工艺中的射频阻抗自动匹配。适配13.56MHz工业射频频率，兼容主流射频
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