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EDWARDS STP-H1303CV3涡轮分子泵 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：EDWARDS STP-H1303CV3 涡轮分子泵产品特点EDWARDS STP-H1303CV3 是一款磁悬浮涡轮分子泵，集成控制器与电源，专为半导体刻蚀、CVD等严苛工艺设计，提供高流速、无油的超高真
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