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Advanced Energy 3153137-934远程等离子体源 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:Advanced Energy 3153137-934 是先进能源工业公司旗下一款远程等离子体源,主要用于半导体晶圆制造及光电领域,为腔室清洗、表面改性和薄膜蚀刻等工艺提供稳定的活性粒子源。
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