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MKS 651D-15414压力控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：MKS 651D-15414 是MKS Instruments推出的一款高精度压力控制器，专用于驱动MKS 253及653系列蝶阀，通过PID算法实现真空系统的精确压力调节。中间13条特点内置大功率驱动器，可驱动最大
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