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Kawasaki 0190-85426 晶圆预对准器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：Kawasaki 0190-85426晶圆预对准器作为川崎半导体晶圆传输系统的关键组件，具备以下15条主要产品特点：中间15条：专用于200mm和300mm晶圆的边缘检测与中心定位。采用CCD线阵传感器
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