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GENESIS GHW55A-13DF4L0射频发生器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：GENESIS GHW55A-13DF4L0 是 MKS/ENI 旗下 GHW 系列的一款高性能 13.56MHz 射频等离子发生器，输出功率 5500W，专为半导体制造中的 PECVD、刻蚀等薄膜工艺而
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