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TEL 3B87-003543-11加热器总成 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：TEL 3B87-003543-11 是东京电子（Tokyo Electron）半导体热处理设备中的专用加热器总成，主要用于扩散炉等高温工艺腔室，负责为晶圆加工过程提供精确、均匀的热量输出。产品特点（15条）专为
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