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DAIHEN NGA-50A-V射频发生器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：DAIHEN NGA-50A-V 是大亨（DAIHEN）旗下50W级别的射频发生器，常用于半导体刻蚀、CVD及等离子清洗等精密工艺。产品特点（15条）输出频率推测为13.56MHz工业标准50W输出功率，适合小型腔体
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