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Yaskawa XU-RC350S-J01 晶圆机械手 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：Yaskawa XU-RC350S-J01 晶圆机械手该型号为安川电机专为半导体晶圆传输设计的M101系列真空晶圆机械手，是旧款半导体产线中负责晶圆取放、传送的核心自动化组件。产品特点专为真空晶圆传输设计
Yaskawa XU-RC350S-J01伺服控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：Yaskawa XU-RC350S-J01伺服控制器是安川伺服系统的核心驱动单元，负责执行速度环、位置环及转矩环的精密调节。产品特点采用高性能数字信号处理器，运算速度快专为Yaskawa XU-RC350S
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