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STEC SEC-4400质量流量控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:STEC SEC-4400 采用金属密封结构,专为半导体、光伏等严苛气体控制场景设计,主要特点如下:中间(13条)控制精度达 1.0% F.S.,满足精密工艺需求重复性为 0.2% F.S.,多次运行一致性高响应
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