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TURBOVAC 361涡轮分子泵 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：TURBOVAC 361涡轮分子泵是一款用于高真空系统的精密真空获得设备，常见于半导体工艺、真空镀膜、分析仪器及科研实验系统中，主要用于在前级泵配合下实现高真空甚至超高真空环境。中间特点：采用多级高速旋转叶轮结构，通过动量
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