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AMAT Applied Materials 0870-01002步进电机驱动器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品特点专用性设计为 AMAT 半导体工艺设备定制，适配机台内部运动控制需求。与 AMAT 的控制系统、总线接口高度兼容，减少调试与改装工作。精确运动控制支持步进电机的高分辨率细
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