AMAT Applied Materials 0090-90140控制器模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品应用领域半导体工艺设备真空系统用于 AMAT 的真空工艺设备（如 CVD、PVD、Etch 等），主要负责 真空腔体的泵浦、阀门、压力调节。确保工艺腔室内维持稳定的真空环境，以满