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AMAT Applied Materials 0010-00557热交换器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品应用领域1. 化学机械抛光（CMP）系统热交换器主要用于 CMP 工艺液体（如抛光液）的温度控制。CMP 工艺对温度非常敏感，液体温度变化会直接影响材料去除率（MRR）和抛光均匀性
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