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Gasonics 90-2735联锁板 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品名称Gasonics 90-2735 联锁板产品应用领域安全联锁控制系统负责半导体等离子设备中的安全联锁逻辑，实现门盖、腔体压力、气体流量等关键安全参数的监测与控制。设备保护与故障防范当检测到异常状态（如门未关闭、
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