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Gasonics 810-1213凸轮传感器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:产品名称Gasonics 810-1213 凸轮传感器产品应用领域半导体等离子处理设备机械运动检测用于检测设备内机械凸轮的位置和转动状态,确保机械臂、阀门等运动部件的准确定位和时序控制。工艺步骤同步与联锁控制通过
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